二手 CANON PLA 501 F #293824950 待售

CANON PLA 501 F是一种掩模对准器，是用于生产半导体集成电路的先进工具。它是一种先进的、高精度的工具，具有许多根据光刻插图量身定制的特征，这一过程用于创建微型设计。CANON PLA-501F遮罩对准器提供了一种使用光源和菲涅耳透镜将图像传输到表面上的精确方法，可以在晶圆上投射图样。PLA 501F具有多种特点，可用于半导体集成电路的制造。它具有4英寸的工作场和0到5度的倾斜遮罩架，以提供更好的遮罩对晶圆的曝光。机器还具有高精度级，使对齐器能够精确移动晶圆（或掩模），以便将图样适当对齐到基板上。PLA 501 F的对准精度在其工作场的30%范围内在2.4 μ m以内。机器本身是为了重复性和耐用性而设计的，要求最低限度的维护。掩码对准器还包含分辨率高达4 μ m的接触图像传感器。此外,还提供了高达10,000个快门步长/秒的可变快门速度,以满足最苛刻的曝光要求。此外，高精度步进电机驱动系统和真空台有助于提高对准的质量和准确性。高性能遮罩对齐器，PLA-501F量身定制，以实现大多数光刻应用。它提供了晶片和掩模之间的精确对齐，并且其功能集提供了各种功能，这些功能可以根据每个工艺的需要进行定制。CANON PLA 501F具有先进的功能和高精度的阶段,是创建微型设计的先进工具,能够创建适合各种应用的高级集成电路。