二手 CANON PLA 501 F #9121428 待售

CANON PLA 501 F是一台先进的光刻步进机，利用精确的掩模对准器在亚微米级创建集成电路模式。它设计用于高精度、连续流处理，能够以高精度和均匀性产生微小的模式和电路设计。CANON PLA-501F利用步进和重复对齐技术来确保每种模式的应用都具有高度的准确性。该系统采用激光标记技术，有助于在芯片设计中高效、预定地放置图样。步进器的光学元件提供高解析度的影像,将影像传送到掩模阶段,并投影到在基板上建立所需图桉所需的精确点。这样可确保每次都能准确放置每个设计或阵列元素。PLA 501F提供高度自动化,具有多种过程控制功能。其软件包使用户能够对曝光时间、剂量和焦点设置等设置进行编程和控制。此外,它还可以存储用于批处理的多个晶圆配方。此外，机器可以与外部数据通信系统连接，其LabVIEW软件使用户能够监控整个系统并创建实时修改。PLA 501 F还提供可靠的重复性和精确的注册。其自动化和可编程的设备对准系统可确保对每个芯片模式应用适当的测量和设置。这样可以确保每个设计都能在99%的时间内进行复制,从而达到最高精度和产品产量。此外,CANON PLA 501F的快速扫描光学器件允许更高的基板吞吐量和更快的生产时间。PLA-501F是生产高精度集成电路设计的理想选择。其可编程的过程控制功能、可靠的重复性和精确的基板配准，使其成为现代大批量芯片生产的绝佳选择。