二手 CANON PLA 501 FA #293592858 待售
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ID: 293592858
晶圆大小: 5"
优质的: 1983
Mask aligner, 5"
Control box
(2) Accessories packing
Lamp power supply
1983 vintage.
CANON PLA 501 FA是一种用于制造大面积微纳米级器件的掩模对准装置。它被设计用于获取图样化的光刻材料并将其沉积在基板表面上。CANON PLA-501FA是一款具有高度精确度和可重复性的全自动掩模对准器，是大规模生产精密零件的绝佳工具。该机结合了出色的对齐能力和快速可调的参数，如曝光时间和分辨率。PLA 501FA包括高分辨率光学显微镜、激光系统和自动对焦摄像机，可以对成品设备进行严格的对准和可重复的质量。它利用真空卡盘，使固体虎钳支撑和X级和Y级的直接运动，精确定位面罩和基板为每个覆盖。CANON PLA 501FA还具有抗蚀剂分配功能,可在紫外线照射期间实现厚抗蚀剂应用和高速旋转涂层。这种特性可以对沉积在基板表面的涂层进行极好的控制和均匀性。PLA-501 FA具有开放的光学系统体系结构,能够支持可用于高精度对准的N系列块掩模支架。此外,该机器利用各种驱动器技术提供了最大的灵活性,能够在一台机器上同时生产多个设备。该机操作健壮高效，提供自动化的电子束控制，高精度的光刻，出色的重复性。它还有一个低残留的设计，使抗蚀层的最佳附着的基板。总体而言，CANON PLA-501 FA是高批量生产微型和纳米设备的绝佳掩模对准器。它在成本、性能和准确性方面提供了极好的平衡,能够经济高效地生产精密零件。
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