二手 CANON PLA 501 FA #293652732 待售

CANON PLA 501 FA是一种用于生产微电子器件的掩模对准工具。这种对齐器设计用于在制造半导体元件和集成电路器件时，在基板上精确定位光掩模或标线，精度很高。该装置具有高度精确的光学对准系统和基于CCD摄像机的成像系统。这台机器的设计目的是通过其自动对齐功能确保掩模放置过程的准确性。CANON PLA-501FA由两套陡场透镜组成，每套透镜包含两个物镜、两个目镜、两个光束和一个旋转的炮塔。光束用于对准目的，而转塔旋转使机器能够与手动或自动操作对准。对齐器的精密操作使它能够以每秒500个对齐采样点的速率达到高达20微米的对齐精度。PLA 501FA具有多种功能,允许操作员自定义其对齐操作。这些功能包括用于在放置前旋转和扫描掩码或标线的旋转臂、模模或模对基准对齐模式、背面对齐、图像传输对齐模式和自动对齐模式选择。对齐器还提供高分辨率蒙版图像的图像捕获功能,用于进一步分析或遵守质量标准。CANON PLA 501FA具有精确和可重复性，是大规模生产微电子器件的理想工具。该装置能准确对准标线，协助制作模具，提高生产过程中的质量控制。该对齐器还提供了比较对齐功能，以便通过比较同一基板上横跨标线的光学元件来检测图样之间的缺陷。此外，对齐器很容易集成到现有生产线中，使其成为任何生产设施的宝贵投资。