二手 CANON PLA 501 FA #293674409 待售
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CANON PLA 501 FA是一种微光刻面膜对齐器，设计用于电子工业中的图样IC芯片。该装置精度高，能够控制模式对准，精度高达0.3微米。CANON PLA-501FA是一种用于在硅、聚酰亚胺和Kapton等多种基板上进行直接曝光的掩模对准器。它由一个精密定位级组成，可以在三个轴上移动基板，并与掩模组精确对齐。这个定位级可以支撑直径最大7英寸、厚度在1-6mm之间的基板。设备采用佳能制造，高分辨率镜头组件，数值光圈0.60，投影镜头放大倍率0.63，工作距离8.0mm。该镜头组件可提供全场紫外线投影曝光，最小分辨率为0.3微米。PLA 501FA具有快速扫描和跟踪功能，使其能够在短时间内产生高精度的掩码。该系统配有佳能制造的光学干涉仪，用于在每次曝光时监测基板表面的平面、线性和角位移，以确保正确对准。该干涉仪配有一个高灵敏度的显微镜自动对焦装置，可以精确地将基板表面与掩模组对齐。该机可以手动、半自动或全自动模式操作，使其易于适应各种要求和工作环境。为防止环境污染，不断提供由电离器净化的空气。此外，红外照相机被集成到工具中，提供一个覆盖曝光图像，可以用来动态跟踪蒙版在晶圆上的位置和曝光区域。总体而言,PLA-501 FA掩模对齐器能够提供高达0.3微米精度的模式对齐功能,使其成为电子行业中IC芯片的宝贵工具。
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