二手 CANON PLA 501 FA #293749124 待售

CANON PLA 501 FA是一种高性能的掩模对齐器，能够在光刻过程中提供准确可靠的模式对齐。该装置是一种用途广泛且先进的对齐器，可以处理广泛的基材和抗蚀剂。它能够执行直接成像和基于掩码的过程,而无需额外的设备。佳能PLA-501FA配备了630毫米的工作距离，可重复的精度高达0.2um，最大晶圆尺寸为200毫米。该设备还具有12英寸的活动区域,变焦范围至少为8倍。它具有7.250 x 5.250英寸的标准场尺寸和集成的自动对焦设备,可提供掩模和抵抗剂的精确对准。该设备利用G线 （430nm）和I线 （365nm）源进行曝光,每次拍摄的最大对准速度为0.05 ms。它还具有直接成像模式,能够提供单一曝光、多曝光、幻影和幻影曝光过程。该设备具有易于使用的图形用户界面和灵活的配方编程、PC远程软件和用于系统联网的Web服务器。它有一个内置的HIAC监测单元，用于监测流程结果。此外,该设备具有广泛的曝光后烘烤平台,允许使用一个设备测试不同的抗蚀剂厚度。它还有一个晶圆对齐机，减少了光刻过程中所需的掩模数量。总之，PLA 501FA是一种功能强大的高性能工具，能够执行高精度的光刻工艺。它具有广泛的功能和工具，如直接成像、多曝光、G线和I线源、HIAC监控工具以及晶圆对齐资产，使其成为掩模对齐器的绝佳选择。