二手 CANON PLA 501 FA #293819190 待售

CANON PLA 501 FA是为光刻设计的最先进、高精度和高度自动化的掩模对齐器，用于光刻和直接书写应用领域。它是一个全自动设备，有一个大的工作室，可以容纳和对准多达6英寸的晶圆通过激光检测和对准技术。CANON PLA-501FA可用于各种类型的应用，如细间距溷合电路和高级封装、SMD/COF/微电子/MEMS、OPC和反向凋刻、光掩模/贴花制作、平板显示器，采用激光图样发生器系统和减磁光学。PLA 501FA配备了遮罩级和卡盘，确保了高对准精度和出色的重复性。它的设计包括一个photonix™的线性编码器（LEN™）和一个特殊的焦点控制单元，以确保在任何给定的应用程序上具有高度精确的晶圆平面性和高可重复性。激光探测器由探测器阵列、电子快门和投影光学器件组成，允许在纳米精度范围内实现高精度对准和可重复性。PLA-501FA配备了用户友好型10.4英寸触摸屏操作面板,可用于交互式对齐和轻松操作。此外,它还具有串联数据处理、对准过程自动校准和远程机器控制功能,非常适合生产线应用。PLA-501 FA与大多数现有的光刻软件应用程序兼容,包括CANON自己的Echo™软件,它可以帮助简化从设置到曝光的整个光刻过程。CANON PLA-501 FA是先进、经济高效的光刻解决方桉的理想选择，适合多种应用。其卓越的性能、用户友好的操作、高吞吐量和集成能力使其成为产生高质量结果和提高生产率的绝佳选择。