二手 CANON PLA 501 FA #9099865 待售
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CANON PLA 501 FA是一款设计用于电子元件生产的高精度口罩对准机。这台机器用于光刻,这一过程涉及将图样转移到基板上以创建复杂的电子电路图样。为此,CANON PLA-501FA使用了两个光束系统,一个用于曝光,另一个用于对齐掩模。这种设备允许极其精确的模式生产,使解放军501FA微电子生产的理想选择。PLA-501 FA配有两根光束和透镜,可以将图样投射到晶圆上。该机器有双加尔沃扫描仪对准面罩,并设有真空头用于保持和安装(TMH)面罩在其精确的位置。其中包括一个可调节的加热系统,以保护过程中的细腻基板。该机还具有真空压力控制和自动夹紧装置来精确定位晶片。CANON PLA-501 FA可执行高达40 nm的微观模式精度,投影波长为365至455nm的模式。机器也具有较高的吞吐量,最多12个晶圆的处理时间为5秒或更短。为了实现可重复性,这台机器采用了一种高精度的对准工具,并在100 um的区域内进行了纠错。虽然这个资产很复杂,需要熟练的操作员,但是很容易设置和操作。PLA-501FA的设计非常耐用和高效。机器有一个坚固的框架,可以承受大负荷的晶圆和其他基材。内置的安全措施使操作员能够工作而不必担心损坏或超载模型。CANON PLA 501FA是工厂制造电子元件的宝贵工具.其高精度的模式创建和准确性使其成为创建复杂模式的理想选择。该机器强大的设计、安全措施和高效的吞吐量使其非常适合任何光刻需要。
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