二手 CANON PLA 501 FA #9142669 待售

CANON PLA 501 FA
製造商
CANON
模型
PLA 501 FA
ID: 9142669
晶圆大小: 2"
优质的: 1988
Mask aligner, 2" Process: Photolitho 1988 vintage.
CANON PLA 501 FA是专为半导体封装和溷合产业而设计的全自动掩模对齐器。该设备提供了具有4微米定位精度的高速模式处理解决方桉,可快速完成光掩码对准任务。CANON PLA-501FA是系列5000系列面罩对准器的一部分,作为精密照相和其他关键生产工艺的首要光刻系统。它允许使用UV激光器直接在石英或面板母版上成像,从而使实时蒙版曝光成为可能,而无需进行胶片处理步骤。PLA 501FA配备了各种先进功能,增强了其可用性和准确性。它采用纳米级微定位系统,用于样品板对准标记和图样之间的精确对准。此外,它还有一个全自动晶片负载-标线交换机制,减少过程时间和人为错误的机会。该装置还拥有先进的漫射反射覆盖传感器,用于监控整个操作表面,以改进光刻处理和更精确的曝光控制。PLA 501 FA还可以连接到PC以连接和控制设备,同时还可以轻松归档光刻作业。PLA-501 FA和PC的结合允许对掩模曝光进行实时监控,从而提高了操作效率。设备也可以随时使用,不需要额外的用户准备时间或特殊设置。PLA-501FA也是一个坚固可靠的系统,因为它具有高能效、高度耐用的部件。这些元件在标记和晶片/掩模之间具有4 μ m的极佳晶片对准精度,可帮助对准器在不磨损的情况下保持峰值性能。这使得该设备适合在生产要求严格、工作流程快的行业中使用。最后,CANON PLA 501FA设计用于低维护操作,可以长时间运行,而无需维护或校准检查。它也与大多数石英或溷合板和基板兼容,使其成为各种工业学科的绝佳选择。
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