二手 CANON PLA 501 FA #9144944 待售

CANON PLA 501 FA是一种自动化的掩模对准器，专门为获取光刻应用中高质量、高精度的光掩模曝光而设计。它能够提供具有最小失真和织带的高精度口罩。此对齐器有助于提高流程吞吐量、提高光掩码的准确性,以及在光掩码上精确定位带光标的结构和图桉。对齐器配有5 MP成像仪，16 "x 12" FOV，允许高达0.000004"的定位和对准精度。增强的智能阶段使掩码注册的准确性低至0.000063英寸,并加快了流程。各种对齐器可与此对齐器结合使用，包括晶圆步进器、步进器和扫描仪，以及直接写入系统。CANON PLA-501FA的设计旨在通过高精度曝光来减少工艺时间和提高光掩模精度。它还提供了一个集成的高精度自动对焦光学系统，以消除失真和织带，同时保持精确度达到所需规格。直观的用户界面加上易于操作的仪表板,简化了操作,有助于实现高效且合规的流程。对齐器提供多种配方和功能比较,确保每个应用程序的最佳设置。PLA 501FA旨在满足严格的流程要求,并提供满足这些要求的高性能解决方桉。对齐器是高容量光刻和精密应用的理想选择。该对齐器具有多种功能,可确保卓越的精度、可靠性和性能。