二手 CANON PLA 501 FA #9226071 待售

CANON PLA 501 FA是一种计算机控制的口罩对准器，设计用于处理和对准电子设备。该装置的对准精度是为了满足先进工业的要求而设计的，如高密度逻辑集成电路和溷合电路基板。CANON PLA-501FA可以提供所需的精确对准精度和最大吞吐量，以及对不同基板的支持。解放军501FA采用6英寸对准平台，可重复性精度为2.7微米。有双参数化对焦设备和高精度V槽电动级，为基板对准提供必要的精度。对准器还具有可调聚焦光学系统，可帮助调整基板顶部和底部的聚焦，从而提高对准精度。该对准器还装有自动晶片装载机，便于装载和卸载基板。PLA-501FA还为不同的应用程序提供了广泛的操作模式。这些功能包括Red-Green （RG）功能、用于具有复杂晶圆模式的基板的Global Align （GA）功能、用于具有局部模式的基板的Local align （LA）功能,以及多种对齐功能。高级模式识别模式还允许用户在单个步骤中加载大量模式。通过CANON EPSOFT软件控制PLA-501 FA。此软件提供自动基板、模式和工艺选择,还允许手动输入数据。软件允许对每个工艺进行即时记录,包括底物、工艺和跟踪名称的详细信息,以及动态更新与底物注册和对齐有关的统计信息。综上所述，PLA 501 FA是为电子设备的高精度对准和处理而设计的计算机控制掩码对准器。它具有6英寸对准平台，2.7微米可重复性精度，双参数化对焦单元，可调节对焦光机，先进的模式识别模式，以及佳能EPSOFT软件。它非常适合用于高密度逻辑集成电路以及溷合电路基板的先进制造。