二手 CANON PLA 501 FA #9226309 待售

CANON PLA 501 FA是一款高精度、全自动的掩模对准器，最大场为1000 mm x 1000 mm。它非常适合先进的晶圆加工，是电子工业中集成电路（IC）制造的理想选择。CANON PLA-501FA配备了CANON先进的光刻技术，可实现卓越的迭加精度和效果。其悬臂设计确保了出色的均匀性,并确保光刻光刻工艺在整个芯片生产线中始终可靠。PLA 501FA还提供卓越的热校准和缓解,提高产品寿命和确保峰值性能.强大的电机驱动系统可确保精确的龙门移动和精确的掩模位置。双快速释放夹具可方便地在光掩模之间切换,从而实现快速高效的光刻处理。此外,CANON PLA-501 FA还具有两个最先进的清洁系统。一种新型的湿式喷雾清洗机制可清除残留的抗蚀剂和有机材料，而液体取样系统则可提取任何挥发性污染物。此外，面罩对准器还配有传感器，用于监测温度和压力，以提高颗粒控制水平并提高产量。PLA-501FA还提供全面的高级安全功能。一系列联锁装置旨在保护用户免受危险化学品的危害，如果检测到任何危险，内置的自动关闭将停止操作。一个清晰的安全镜片减少眼睛受伤的风险。PLA-501 FA提供了无与伦比的精确度和可靠性。其先进的光刻技术、全面的安全特性和精确的电机驱动系统，确保了晶圆的高效加工和优越的产量。