二手 CANON PLA 501 FA #9226338 待售

CANON PLA 501 FA是一种高度先进的掩模对准器，设计用于半导体工业。它被用于光刻技术中，以精确定位光学掩模和转移模式到基板上。对齐器提供了卓越的精度,提供了高水平的可重复性,对齐精度为50 nm。CANON PLA-501FA利用了一种放大倍率为10倍至30倍的先进投影显微镜，它由双目显微镜、图像拾取装置、安装台、分束器、光学中继设备和远心透镜组成。显微镜采用独特的HAD折反射光学系统，提供卓越的对比度和分辨率。显微镜还带有自动定心功能和自动对焦功能，以确保尽可能高的精度。PLA 501FA能够处理不同的基材，如玻璃、硅、低k电介质和陶瓷基材，以及提供对准测试结构。对齐器还配备了空中成像装置，用于检测晶圆上的对齐标记。机器由数码相机、步进电机、Z驱动器和转盘执行器组成。PLA-501 FA有一个工具控制器,它具有触摸屏界面,可控制整个对齐过程。它带有许多板载程序,可用于优化对齐过程。该控制器还具有一整套对准工具，包括光学边缘检测功能、非对称对准功能和独特的边缘检测程序。CANON PLA 501FA对齐器非常适合在大批量生产环境中使用,因为它能够提供高吞吐量速度和出色的对齐重复性。该资产效率很高,可提供5秒以下的令人印象深刻的周期时间,典型吞吐量高达每小时250个晶圆。总体而言,PLA-501FA是一款非常先进的掩模对齐器,能够提供卓越的准确性,适用于大批量生产环境。