二手 CANON PLA 501 FA #9239727 待售

CANON PLA 501 FA是晶圆粘合和光刻市场的全自动、高精度、经济高效的掩模对准器。蒙版对齐器具有强大的高速图样,最大对齐精度± 0.2 μ米。搭载8「至12」的口罩介面卡，与各大口罩製造商的全尺寸口罩相容。这台机器有助于在所有三种曝光方法上实现高于0.4 μ米的对准：可见、正常或先进。机器的自动化设备为用户提供了一套完整的控件，用于对齐面膜上的光刻抗蚀剂和基板，允许用户实现高度均匀对齐的可重复模式。自动化的过程使精细图桉与均匀的螺距对齐,也允许抗蚀剂图桉与各种厚度的基板图桉对齐。这样可以确保最高精度的对齐方式,同时确保对齐方式稳定一致。机器的高功率光学系统可确保图样精确投影,并在掩模平面上提供均匀的照明。这样可以确保模式分辨率是最高质量的。CANON PLA-501FA面罩对齐器还具有横向移位选项,允许在出现意外问题时调整模式投影。PLA 501FA面膜对准器针对湿蚀刻工艺进行了优化，包括了多项安全功能，以防止交叉污染。再者，操作员可以从控制台远程控制机器设置，允许操作员在无需人工干预的情况下监控机器的操作。最后,机器还提供高级维护功能,这些功能旨在最大程度地减少停机时间并确保机器始终处于峰值状态。所有维护活动均已记录,可以咨询以确定任何潜在问题,从而能够及时修复这些问题。总体而言,PLA-501 FA掩模对齐器是寻求可靠、高精度和经济高效的光刻解决方桉的光刻师的绝佳选择。其自动化单元、强大的光学机器以及先进的维护功能确保了本机在竞争中脱颖而出，是任何光刻师的智能选择。