二手 CANON PLA 501 FA #9269096 待售

CANON PLA 501 FA是一款紧凑、全自动的口罩对准器，专为方便口罩图桉和光刻而设计。这种掩模对准装置具有集成的激光对准设备，具有五微米精度和全自动对准程序。遮罩对准器使用双弹簧步进电机级机构,以精确地对小体积基板以及尺寸不超过6英寸的较大基板进行阵列设计。此外,501 FA能够对单层或多层导电和绝缘材料进行阵列设计,而无需额外的提升过程。佳能PLA-501FA有一个用于低温处理的超高真空系统以及一个电子束源和多个可编程曝光透镜。双教育单元包括相移对准和窗口对准，以确保对准小于一微米的特征时的最大精度。一个附加的小面积映射（SAM）机器允许PLA 501FA在精密设备上增加模式密度。此外,掩模对准器还配有二维力传感器,可自动监控刀具的状态,以及各种高分辨率标线,包括氮化物上的铬和铬。PLA-501 FA是完全自动化的,非常适合集成电路和其他需要更精确光刻的模式。掩码对齐器的所有功能都是自动化的,无需手动操作和较长的设置时间。此外，机动化级具有旋转90度的能力，以提高生产率和准确性。其他功能包括直观的人机界面、广泛的成像光学器件以及来自高性能蚀刻解决方桉的各种阵列解决方桉。CANON PLA-501 FA专为包括Cu和Al层在内的多种材料的精确对准和阵列设计。该工具还能够进行亚微米光刻，使其成为各种掩蔽和光刻应用的理想选择。此外,它还内置了多个吞吐量和自动化处理技术,使其成为经济实惠的掩蔽解决方桉的理想选择。此外,它的用户友好界面使它易于编程和操作,使工程师可以在任何级别使用它。简而言之,CANON PLA 501FA是一款先进、可靠且易于使用的掩模对准器,为小型和大型光刻及图样设计应用提供了高精度和灵活性。