二手 CANON PLA 501 FA #9270090 待售

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製造商
CANON
模型
PLA 501 FA
ID: 9270090
晶圆大小: 4"
Mask aligner, 4" Automatic wafer handling Round chuck.
CANON PLA 501 FA是一种用于精密光刻和晶圆级封装的自动掩模对准器。设备完全由计算机控制,允许用户从中央控制单元设置、监控和调整参数。该系统包括紫外线暴露和晶圆级封装的高级功能。CANON PLA-501FA是一种5轴对准工具,旨在实现光掩模与基板的超精确对准。该单元包括一个带有中心戳校正的x-y旋转级和一个z轴级来控制基板高度。此外,猫眼照相机用于检测基板与掩模的对齐方式。PLA 501FA能够提供高精度和重复性的光掩模和基板的对准.佳能PLA-501 FA拥有两种曝光模式,即翻转模式和双曝光模式。利用光源的可翻转偏振状态,可以同时暴露基板的正面和背面。这有助于优化吞吐量,同时最大限度地减少光源造成的任何失真。此外,PLA-501 FA还为晶圆级打包应用程序提供了一套高级功能。该机的低温粘结选项非常适合用于粘合细腻的芯片。该工具还利用先进的封装技术来保护组件免受湿气和灰尘的侵害。此外,PLA 501 FA还包括带有PID(位置指示检测器)的标记检测,以确保装配的准确性。总体而言,PLA-501FA是一种先进的掩模对齐器,在精密光刻和晶圆级封装方面具有优异的性能。该资产具有多种高级特性和功能,能够持续提供可靠的结果。
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