二手 CANON PLA 501 FA #9276651 待售

CANON PLA 501 FA是一款用于制造半导体器件的顶级面罩对齐器。遮罩对准器利用激光光束的光学系统进行图样投影，步进电机进行图样传输。这允许在光刻过程中将掩模图样精确对齐基板图样。准确的模式传输对于设备生产至关重要。佳能PLA-501FA提供卓越的吞吐量以及出色的模式注册。其光学系统波长为355 nm，步进电机的运动增量为0.6 μ m。遮罩对准器的最大帧大小为450 mm x 450 mm。就精度而言,掩模对准器提供0.2 μ m的定位和线宽分辨率。PLA 501FA还设计用于最大程度地减少颗粒污染。它配备了粒子消除滤波器模块和放电快门。这允许在掩模对准器内的密闭区域中清除空气中的颗粒。此外,掩码对齐器还提供高速扫描功能。全尺寸250 mm x 250 mm帧的扫描时间为0.1秒。PLA-501 FA的整体设计是紧凑、用户友好的设备。它提供了一个符合人体工程学的控制面板、一个微处理器接口和一个简单的设置功能，允许快速和平稳的操作。此外，掩码对齐器还附带一个数据记录器，允许用户记录光学系统数据并长期跟踪。总而言之,PLA 501 FA是一种高度可靠和高效的掩码对齐器。它的精度、速度和污染控制使得它成为许多半导体公司的理想选择。对于那些需要在最短的时间内生产出最优质元件的人来说，这是一个绝佳的选择。