二手 CANON PLA 501 FA #9289791 待售
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CANON PLA 501 FA是一种掩模对准器,用作制造先进半导体器件的光刻设备的一部分。它常见于制造芯片和其他微型电子元件的生产环境中。掩模对齐器能够以非常小的比例在硅、铝和其他材料制成的晶片中涂抹图样。划线是使用激光完成的,激光通过掩码聚焦,掩码包含设备所需元素的图桉。然后使用掩码对齐器将掩码中所需的元素与划线晶片对齐。该系统由四个主要组成部分组成:扫描仪、步进器、分析仪和投影单元。扫描仪负责校准掩模对准器的光学元件,以确保机器正确对准。步进器负责将蒙版从一个位置移动到另一个位置上的划线晶片。分析仪负责测量激光的强度和检测模式的变化,必要时进行校正。最后,投影工具将遮罩投射到晶片上,确保正确的元素被转移。该资产可以处理直径不超过8英寸的晶片,并且能够达到0.004微米的分辨率。它还设计用于洁净室,因为它需要一个干净的环境来正确地书写和转移元素。此外,该模型能够同时对齐多达12个掩码,这意味着它可以快速生产大容量、复杂的设备。总体而言,CANON PLA-501FA是一种高度精确、通用且高效的掩模对齐器,能够在多种材料上生产各种复杂的设备。它是生产环境中的一个有价值的工具,允许进一步小型化和增加设备的复杂性。
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