二手 CANON PLA 501 FA #9384106 待售

CANON PLA 501 FA是一种自动激光曝光设备，设计用于一步光刻工艺。它是微电子器件、纳米技术、光子学和光电子学高级研发的理想工具。该系统由投影仪和舞台两个部分组成。投影仪模块是由波长为532 nm的固态激光器驱动的高精度光学单元，由步进电机控制。投影仪使用高分辨率连续扫描光束,提供光滑的聚焦、曝光和扫描。这可以进行精确的光刻,精度为1 µm或更高。光学模块还利用高分辨率光学显微镜为光刻过程提供实时显微图像，用于精确的过程控制和反馈。舞台模块包含基板、蒙版和自动对齐机,以及许多其他组件,这些组件可以配置为启用不同的光刻过程。该级包括一个闭环运动控制工具，配备精确的运动级，与绝对位置登记资产（APRS）相结合，以实现精确对准。这些元件允许在高达6-