二手 CANON PLA 501 FA #9395478 待售
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CANON PLA 501 FA是为生产用途而设计的高性能Mask Aligner。它提供高级流程功能,同时提供高吞吐量、高精度和易于操作。佳能PLA-501FA具有新设计的激光光学设备、低重复率激光源以及晶圆对准和加载的自动化过程。PLA 501FA的激光光学系统最大限度地促进了基板和掩模的精确对准。低重复率激光源产生快速而精确的曝光，导致基板和掩模在对准过程中的热损害最小。自动化过程简化了基板和掩模对齐,提供了高吞吐量。集成的晶片控制器允许最大程度地灵活地自动加载晶片，同时提高生产率和提高对准过程的均匀性。CANON PLA-501 FA能够照射到25nm的间距,并且在覆盖和聚焦方面都比最新的公差更好。该设备使用的曝光头能够进行1440 nm的曝光,可减少5倍。光学和电子技术指标旨在支持25到80,000 nm的脉冲速率。使用CANON PLA 501FA可以实现手动和自动对准,使其成为满足生产要求的灵活可靠的机器。PLA-501FA还提供一系列安全和质量保证能力。它可以配置UltraViolet无油对齐工具。其先进的安全设计确保了所有组件在安全方面的最大程度的隔离。高级冷却设备旨在确保模型在稳定的温度下运行,以获得最佳性能。PLA 501 FA可提供最大质量和吞吐量,且维护最少。其先进的特性使得它成为生产环境中晶圆和掩模对齐的绝佳选择。PLA-501 FA具有出色的工艺能力、高精度曝光和内置的安全功能,可为生产需求提供经济高效的解决方桉。
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