二手 CANON PLA 501 FA #9396180 待售
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CANON PLA 501 FA是一种顶级的半自动高分辨率掩模对准器，旨在将写在膜抗蚀剂上的图样精确地传递到晶圆表面上。该设备拥有非常强大的10毫瓦He-Cd激光器，可以在晶片上生成始终如一的高质量和高分辨率图像。为确保掩模正确对齐并精确打印,501 FA实现了由三个高精度微米、一个倾斜级和一个X-Y级组成的精细对齐系统。501 FA不仅具有出色的模式分辨率,而且由于其自动化的特性而易于使用。晶圆对准、晶圆夹紧、抗暴露等特性均由501 FA自动执行。此外，可以控制和调整暴露参数，以确保更精确的对准和暴露。为了获得最佳的光聚合物曝光，501 FA采用4象限和8象限曝光级，可单独或一起使用。这允许以最短的曝光时间曝光精确对齐的图桉，同时提供优越的图桉和迭加精度。在稳定性和耐用性方面，501 FA拥有刚性紧凑的机身和模块化设计的主机机身，使其既耐振动又耐温度变化。此外,它的内置冷却系统保持一致的温度,从而在很长一段时间内实现更加一致和可靠的性能。为了提高生产率和提高吞吐量,501 FA具有许多增强功能,如自动启动、自动晶圆移位、多参数存储、层映射和实时模式对齐。简而言之,501 FA以其尖端、自动化功能、高分辨率激光光学和坚固的设计,体现了现代面罩对准器的特点。
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