二手 CANON PLA 501 #293592025 待售

CANON PLA 501是一款全场掩模对准器，用于光刻和半导体器件制造。它是一种高精度的非接触对齐器，利用光束来实现精确的传递对准，允许对半导体基板上的特征进行精确的图样化。CANON PLA-501具有高分辨率扫描设备和高NA镜头,可实现动态范围广泛的强聚焦模式。所使用的1050nm波长激光器对比度高、聚焦深，能有效传递一系列不同的特征尺寸，精度高。该机的高精度、高分辨率工艺可以精确传输对齐的微光刻图样，可达到0.1um的特征尺寸。它的投影场相当大，可以处理多种模具尺寸。其光敏涂层系统具有均匀的涂层能力，薄膜厚度精度在2%以内。PLA 501具有CAD/CAM控制功能,并具有新的模式设置GUI,可减少设置时间和减少手动操作错误。它还包括一个具有自动对准、倾斜和旋转功能的矩阵布局设施和一个特殊的晶圆映射功能，以便能够快速准确地检查晶圆的平坦度。PLA-501使用先进的蒸发冷却装置，以消除热效应和运动失真，提供尽可能高的准确性和可重复性。机器以低频运行，在操作过程中消除声响。一个14段的辐照发生器产生均匀的辐照，并允许快速处理无维护操作。此外，掩模对准器还配备了先进的CMOS检测器，提供高灵敏度和低暗流测量，有助于确保在任何时候的高端对准精度。CANON PLA 501是一款用户友好型机器，也是高度可靠的，维护间隔长，考虑到其强大的互锁机器和高速检查功能。自动化的过程和易于使用的功能使CANON PLA-501高精度掩码对齐器应用程序的理想选择。