二手 CANON PLA 501 #293608761 待售

CANON PLA 501是一种掩模对准器，一种用于制造微电子和纳米电子元件的光刻设备。它用于在硅片等基板上曝光光刻胶，用于创建集成电路，以及用于其他光电和微机械装置的制造。CANON PLA-501具有紧凑的占地面积,旨在适应各种需要高精度和精确度的应用。其集成设计使其能够融入现有生产线或现有生产设备。它具有大视野、高分辨率、高精度芯片制造所必需的两个特点。此外，它的高精度真空卡盘消除漂移和振动，使其成为理想的小特征和高纵横比特征。PLA 501具有7.3英寸宽的掩模，最小特征尺寸为0.25微米，对准精度为1/5,000 μ m。它配备了高速CPU和多个传感器，使其能够快速扫描和识别掩模图样，并以与电子束机相同的速度和精度精确对准。此外,还可以对PLA-501进行编程,以精确、统一的方式对齐多个掩码。CANON PLA 501也有几个进阶的功能，让它可以进一步减少对齐时间。这些包括掩模的自动定心、精确的俯仰控制、多个精确的对准点、精确的微点对准和激光对准，以及在一个过程中同时使用多个掩模的能力。CANON PLA-501也可以配置用于多种过程，包括正音抗拒应用、负音抗拒应用和曝光后烘烤。鉴于PLA 501的功能和特点,它是那些希望制造精确集成电路、光电或微机械设备的用户的理想选择。其高精度和精确度使其适合最苛刻的应用，以合理的成本提供一贯的高产量。