二手 CANON PLA 501 #293615023 待售
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ID: 293615023
晶圆大小: 3"-4"
Mask aligner, 3"-4"
Spare parts
Does not include automatic wafer handling system.
CANON PLA 501是一种高精度和全自动的5英寸面罩对准设备,用于微电子工业中元件的背面和正面模具连接。当将模具安装到封装、电路板或晶片上时,它可用于较细的螺距和较高的对准精度。CANON PLA-501对齐器配备了大量的自动化组件和功能,可以获得非常准确和一致的结果。这些特性和组件包括高度精确的12.7毫米(1/2英寸)滑动直线台阶、弯曲台阶、步进电机、激光头、CCW倾斜液晶显示器、沿X、Y和Z轴最多13英寸的自动台阶移动、5英寸掩模支架、真空泵和光学系统。PLA 501掩模对准器还能够进行超低放大成像,以及自动对焦,非常适合超细音高要求。在图像采集过程中使用高度灵敏的步进电机运动,可以调整安装台上的图像,从而使模具精确对准包装或板上的目标位置。面罩对齐器的全自动阶段,由安装在基于Windows的PC上的专用软件控制,可提供灵活性和整体设备性能。这台机器的自动化功能允许使用扫描算法进行实时图像监控和处理,从而实现更快的对齐和定位。最后,PLA-501 Mask Aligner配备了高质量的红外加热机,以保持整个平板以及光学工具的X、Y和Z轴的均匀温度。这有助于确保模具附着质量一致,同时避免可能对组件造成热损坏。它还有一个内置的压力监控器资产,可以检测和测量模具连接过程中的压力,以尽量减少对组件造成的伤害。
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