二手 CANON PLA 501 #293643206 待售

CANON PLA 501是用于制造半导体器件的器件。它是一个遮罩对齐器，它是一个工具，用于在目标基板上精确定位一个光掩罩图桉，使图桉的部分可以聚焦，然后暴露在光线下。这可以使模式与正在生产的半导体器件精确对齐，从而带来更高的产量和更好的性能。CANON PLA-501是步进器，意味着它使用步进重复技术来精确对齐和聚焦光掩模图桉。它具有1.5µm的最大对准精度，10°的最大释放角，10mmø的最大场大小。它既配备了远心光学系统，又配备了多边形镜面扫描仪，既具备高精度，又具备过采样能力，即使放大倍数也能带来更好的图像清晰度。激光源平均输出450mW，电压范围为10.5V至12V，适用于近紫外线和可见绝对曝光。PLA 501是一个高度自动化的系统，具有可编程的数字过程控制器和用于深入过程分析的监控系统。用户界面对用户友好且非常直观,具有用于更改参数、监视进程中数据、运行诊断程序和管理用户帐户的简单控件。软件架构分为三个主要模块，由流程模块、操作模块和维护模块组成。PLA-501设计用于清洁环境中，如许多面罩对齐器。该装置内置滤波器和挡板，以及专门设计的噪声和减振系统，因此可以在对环境干扰最小的严格清洁室中使用。为确保设备的平稳安全运行，佳能提供了广泛的消耗性产品，如光刻胶、清洁剂、透镜维护液等。CANON PLA 501广泛应用于半导体行业，以其卓越的精度、速度、可用性和可靠性与竞争对手脱颖而出。凭借其紧凑的尺寸和先进的技术，它可以满足最苛刻的制造要求，并可用于多种应用，如薄膜晶体管、密密麻麻的内存技术、光电子等。