二手 CANON PLA 501 #293644254 待售

CANON PLA 501是一种蒙版对准器，设计用于需要高分辨率、精确的蒙版对准的光刻应用。该系统设计用于高精度地自动对准光掩模，为敏感的光掩模图桉提供了高度的精度。它由一个X-Y轴对准表、一个双光学显微镜、三个标线和一个带有长工作距离成像透镜的投影单元组成。X-Y轴机器人对准台驱动两个棒级，每个级携带标线和基板，分辨率为0.001 mm。这为用户提供了精确对齐多个基板和标线而不会在基板或标线位置引起任何变形的能力。此外，对齐台还具有舞台运动稳定性，可实现高精度光刻曝光而不会产生振动。对双光学显微镜进行了优化，使其能够准确可靠地对准标线和基板。它由高放大倍率的光头组成，变焦范围可达30X。显微镜配有双光纤光源，可调曝光控制，可通过专用USB端口轻松连接到个人电脑进行远程控制。三个标线各包含具有所需图样的光掩码。每个蒙版都是为定义最终要打印的设备的形状和材料而设计的。最常见的标线类型是二元相移掩码、衰减相移掩码、交替孔径掩码和无像差掩码。投影单元配有长工作距离投影镜头，提供蒙版上的图桉暴露在基板上。它配备了曝光控制系统（曝光控制范围为0.05-32秒），快门速度高达1/1000秒，这使得可靠且可重复的模式传递具有高分辨率。总体而言，CANON PLA-501是一种非常精确可靠的掩模对准器，适用于高精度光刻应用。它具有很高的分辨率和准确性，能够以最小的失真将精确的图样转移到基板上。