二手 CANON PLA 501 #293696568 待售

CANON PLA 501是一种用于光刻工艺的掩模对齐器。它是台式机单元，内置光束源，精密X/Y级，集成级控制器。该设备能够产生高分辨率成像,精细分辨率为1.0 μ m。光束源的光斑大小为0.1毫米，功率可达120 W。这对于微观位置的形成是最佳的，可以精确控制过程时间和暴露剂量。X/Y级允许对基板和掩模进行精确和可重复的对齐,以便进行处理,从而实现精确的图像放置。集成级控制器可以精确控制两个轴的运动。佳能PLA-501还包含一个带有石英过滤器的干燥空气系统，以确保清洁环境和防止污染样品。它有一个集成的真空卡盘来固定基板，并且可以支撑尺寸高达100 x 100 mm的基板。为了处理样品，操作员首先在X/Y级加载样品，然后通过手动或自动移动对齐基板或掩模。然后在横梁点穿过样品时进行曝光。经过处理后，必须开发样品以显示所产生的模式。PLA 501是半导体制造中多种应用的重要器件，实现了微电子器件的精确制图。它提供出色的分辨率、样品的精确对齐和自动化操作,以实现可靠和准确的处理。