二手 CANON PLA 501 #293717420 待售

CANON PLA 501是一款全自动的精密掩模对准器，专为先进的微电子研究和高精度光刻应用而设计。它能够提供高分辨率的基板和口罩对准，以及快速，可重复成像。CANON PLA-501的刀台尺寸为4英寸乘4英寸，距刀台最大基板高度为6mm。它配备了254 nm的紫外线激光源和计算机控制的检振扫描镜设备，能够实现高精度对准。该系统还具有一个XY和μ Z级，允许基板和掩模的高度精确的运动，以适应每个实验的配置要求。PLA 501有一个精密的曝光控制单元，允许用户调整曝光参数包括脉冲宽度和波长、曝光时间和曝光剂量比。它还具有手动覆盖模式,允许用户在不影响预设值的情况下手动设置曝光参数。PLA-501安装了一个全面的过程控制软件包。软件包允许用户创建、编辑和执行配方，监控流程状态和收集实验数据。它还允许远程控制机器，允许全自动曝光运行。在维护方面，佳能PLA 501配备了智能自我维护工具，定期检查其组件，并告知用户所需的维护。此外，它还配备了自动清洗设备，可以清除模型镜片、遮罩台和基板上的污染。总体而言，CANON PLA-501是一种高度精确、高通量的掩模对齐器，适用于先进的微电子研究和光刻应用。它配有直观的图形用户界面、先进的曝光控制设备、智能自我维护和自动清洗系统，使其成为高速、高精度制造的理想选择。