二手 CANON PLA 501 #293758566 待售

CANON PLA 501是为晶圆的自动光刻而设计的掩模对齐器。该设备采用两级投影设备,提供高质量的图样,大视野为700 mm x 300 mm。这种两级系统提供高速、低能量的对准，减少了进行光刻的时间和成本。该设备还具有高对比度投影单元,具有出色的分辨率能力。CANON PLA-501有一个尖端光学机器，它提供6倍放大倍率和激光NX90对准光束与接近传感器的高度精确模式对准。自动光刻过程是由工具的CCD摄像机实现的，该摄像机跟踪晶片在曝光期间的位置。它还包含一个自动聚焦资产，如果基板移动或变形，可以调整晶片上图桉的位置。该设备还配备了高精度、高分辨率的成像模型，确保了光刻的良好效果。这是使用6英寸晶片级、9个掩模级和一个行进速度为8 um/sec的XYZ高精度晶片级实现的。它±的45°自由倾斜功能使用户能够在同一基板上进行不同角度的大规模光刻。PLA 501还具有可靠的对齐和传输精度,并结合了其先进的阵列设备和成像系统的特点,使用户能够准确高效地开发模式。该单元还提供了一个对开发过程友好的环境。维护（需要最小的费力）由一个有效的维护计数器确保,该计数器惊人地跟踪服务数据。PLA-501是一种用于晶圆级处理的多合一光刻机。其有用的应用和合适的设计使其成为微电子学、MEMS、半导体或电路加工和生物技术等广泛研究和工业应用的理想平台。