二手 CANON PLA 501 #293760365 待售

CANON PLA 501是一款最先进的面膜对齐器，设计用于在基板上最精确、最精确的光刻胶图样传递。它利用了与各种类型的面膜和基板兼容的高效对准系统。佳能PLA-501包括三个主要组成部分：对准/曝光头、控制单元和用于对准测量的电影摄影机。高精度对准头由增加放大的光学零件组成，这些零件经过风冷和电冷，以提供均匀和详细的对准。磁头连接到10位微型计算机控制单元,用户可以选择所需的掩码对准和曝光时间。先进的电影摄影机可以在单个测量中测量高达256 x 256个对准点，精度为0.2 µm。PLA 501设计用于光敏材料的高精度重复曝光。它具有广泛的曝光变量，包括光强度、焦点、曝光时间、拍摄面积和波长范围。该机配有先进的逻辑操作系统，提供强大的建模能力，确保操作的完美对齐和可重复性。PLA-501配备了自动集中、对称、偏移补偿等多种功能选项，非常适合高精度光刻技术的要求。CANON PLA 501具有用户友好的控制界面,用户可以快速设置和操作机器,从而最大限度地减少错误并提高效率。该掩模对准器还配备了一个高度可靠的自动热暴露和化学暴露系统，以最小的维护要求确保弹性操作。CANON PLA-501使用最先进的技术,在印刷精度、精确度和速度方面提供卓越的性能。最后，机器兼容各种基材和基材尺寸。