二手 CANON PLA 501 #293815056 待售

CANON PLA 501是一款高精度、专业的口罩对准器，提供卓越的性能和可靠性。它有两套运动控制系统，包括能够精确对准设计的膜片执行器，还可以通过其强大的增强软件进行精确调整。掩模对准器的可编程厚度精度为0.3 μ m，非常适合光刻等高精度应用。CANON PLA-501具有大型不锈钢舞台,可实现手动和自动制图过程。四轴级由两个独立的X轴和Y轴驱动器以及一个用于过程控制的公共Z轴组成。再者，机器提供了全尺寸面罩在基板上的精确定位，分辨率为0.5µm。机器表面由塑料护罩保护，这也有助于确保适当的对准和光刻期间的均匀曝光。该机还采用集成激光扫描仪，提供自动模式识别和即时对准，高效准确。它还具有先进的自动聚焦功能，在处理之前自动生成基板的焦点图。它还有一个全面的安全控制系统，以防止在处理过程中发生任何事故。PLA 501结合了最先进的技术和精确度，使其适合各种先进的光刻工艺。它具有光印、抗显影、溅射涂层等广泛的应用。此外，该机器坚固可靠，易于维护，使操作员能够从一个平台控制整个光刻过程。因此,此掩码对齐器以较低的拥有成本提供一致的高质量结果。