二手 CANON PLA 501 #293828883 待售

CANON PLA 501是一种高度精密和专业化的掩模对准器，能够准确高效地制造出具有微观特征的微型器件。该对准器具有先进的对准设备，该设备结合了四点对准系统，该系统采用四个持久对准传感器和激光二极管，用于基板的无接触测量。这确保了基板到掩模的配准和对准的极好的准确性和可重复性。对准器还拥有一个精密光学单元，配有10倍显微镜物镜和5倍显微镜目镜，用于精确控制调节和施加的力。此外，控制微处理器确保高精度水平，范围为0.1至200万米。对齐器还具有一个集成的蒙版舞台,可快速轻松地定位蒙版,从而实现精确的蒙版对晶片的配准。遮罩级可调节，使用户可以改变遮罩悬垂量，增加焦点深度，覆盖0.05至0.7微米的范围。变速蒙版平面伺服驱动器提供了对蒙版的精确移动和位置控制。面罩台采用开放式模块化设计，即使在拥挤的实验室环境中也能确保方便地进入。使用真空机将口罩固定在适当的位置，而舞台本身是稳定和可重复的。兼容的口罩包括溶液处理的有机抗蚀剂、LED抗蚀剂、光致抗蚀剂、二氧化硅和金属口罩。CANON PLA-501面罩对准器还具有集成的光学仪表和自动sharpening‰Ûª功能，可实现高精度和重复性的曝光设置。该工具设计用于每小时最多10个晶圆的超高吞吐量,最多可存储2000万个对齐镜头以供将来使用。该对齐器的设计是为了与大多数标准和定制的光刻台兼容，包括那些集成光学仪表。对于希望提高生产效率和精确度的实验室来说,这使其成为制造集成电路、传感器和其他微型设备的理想选择。