二手 CANON PLA 501 #9030687 待售

CANON PLA 501是由CANON Inc.开发的一种蒙版对准器，设计用于使用激光在晶圆上精确制作图样。CANON PLA-501利用高能聚焦激光束制作精密的三维图桉，最小特征尺寸为14 μ m。它还具有均匀可靠的对准、最佳蚀刻精度和最小反射的特点。蒙面对准和曝光过程使用双光束设备进行。PLA 501制图过程中使用的光束为25 μ m/100 μ m、30 μ m/120 μ m和40 μ m/160 μ m。双光束系统用于同时暴露两种不同过程的两种模式，从而使PLA-501能够减少掩模的变化，使吞吐量增加一倍。CANON PLA 501配备了激光间距装置，以防止由于激光能量不足而产生的误差。它还配备了激光扫描光学单元，能够调节扫描速度，无需机械调节即可轻松调节。此外，该装置还包括一个精确的高度调整机，保持一致的性能和高精度。它还有一个消噪工具，用于隔离激光的路径，以减少由于振动和其他环境因素造成的分辨率误差。机器的整体规格人性化，由于其软件和专用的操作功能，足够灵活以适应不同的生产要求。该机软件配备了低噪声优化器功能，还能够自动调节激光功率和曝光时间，以优化图桉形状，减少不稳定性的发生。总体而言,CANON PLA-501是一种可靠且用户友好的掩码对齐器,可提供高精度的阵列精度和可重复性。其双光束资产及其软件功能使其成为生产晶圆图样的高效可靠的机器。