二手 CANON PLA 501 #9259719 待售

CANON PLA 501 Mask Aligner是一种用于制造微电子器件的光刻设备。利用真空卡盘和掩模工艺，快速、准确地对齐图样，并将图样暴露在基板上的薄膜上。CANON PLA-501是对生产线的经济高效的补充,因为它提供了精确的对齐和良好的特性一致性。这种对齐器适用于高达4英寸的基板或9 x 10.5英寸的片，间隙为1.25英寸，焦点范围为8.5毫升。CANON PLA 501mask对齐器利用高分辨率的服务器控制步进电机和双编码器实现精确的模式对齐。它由主体和真空头两个主要部件组成，配有光学对准光学器件和微对准器件。主体装有真空卡盘、口罩对准光圈和曝光灯。真空头用于固定基板，并将掩模移动到适当位置，以便精确对准。磁头附着在机器底座上，面罩通过光学对准放大系统在平面上对齐。PLA 501 Machine的曝光系统由多盏灯和一个控制器组成，以调整预定设置的曝光量。曝光灯安装在滑块上，便于调节曝光。曝光控制器通过测量光束强度和产生曝光输出来确定曝光时间。它还允许编程曝光补偿和选择手动或自动曝光模式。PLA-501机器是一种相对较小的设备-其尺寸仅为26.77英寸W x 26.77英寸D（包括真空头）,重量仅为59磅,可容纳6英尺的空间。该机器还UL-60079-1安全认证，其设计目的是为即使是最敏感的基板提供必要的保护。CANON PLA 501 Machine由CANSCAN供电-CANON开发的专有软件。它提供了控制系统功能的接口，包括：面罩布局、基板选择、曝光参数调整、通过自动和手动模式对齐，以及数字计算、预设和可编程曝光剂量的显示。总体而言,CANON PLA-501 Mask Aligner是一款紧凑、经济实惠且易于使用的工具,可提供精确的对齐和良好的特性一致性。UL-60079-1安全认证，与CANSCAN兼容，成为微电子器件生产的理想机器。