二手 CANON PLA 501 #9301351 待售

CANON PLA 501是一款台式机蒙版对齐器,具有独特、低成本和易于使用的设计。该产品具有很高的空间精度和精度控制，提供了卓越的、可重复的光刻性能。该设备具有自动对准和晶圆处理功能，允许用户减少与光刻相关的时间和成本。CANON PLA-501具有高分辨率、高能量和低失真检测系统,能够在掩码和晶圆级准确对准和定义。该单元由CANON专有的脉冲激光技术提供动力，可以在一次操作中进行多次曝光。机器使用一系列脉冲宽度和强度来精确地暴露掩模或晶片。独特的激光装置可确保整个掩模或晶片的曝光均匀。这样可以通过减少工件来提高最佳效果。该工具利用两阶段曝光过程来改善曝光分布和聚焦。第一阶段是快速、准确检测掩模图样的对齐方法。在第二阶段，对底物施加最佳剂量和暴露。这样可以确保图样始终转移到基板上。资产包括先进的软件，可以优化曝光参数，进一步提高精度和可重复性。由于集成了多种工具,例如对齐验证、自动曝光优化和测量反馈控制,软件还可以实现高吞吐量和高效性能。软件使用方便，可以用任何语言操作。PLA 501具有多种功能,非常适合基础研究和商业应用。该模型可以处理广泛的应用，包括在各种基板上的光刻。它独特的设计和方便用户的功能使它成为任何实验室的绝佳选择。