二手 CANON PLA 600 FA #151689 待售

製造商
CANON
模型
PLA 600 FA
ID: 151689
晶圆大小: 5"
优质的: 1991
Mask aligner, 5" Currently warehoused 1991 vintage.
CANON PLA 600 FA是一种面罩对齐器,设计用于微米级和纳米级的精密光刻。它是一种高度先进、计算机控制的晶圆步进器,具有一组功能,使其适合广泛的应用。口罩对准器有一个舞台,设有氙气灯、扫描仪和6英寸圆形玻璃板。舞台设计用于处理从200毫米晶圆到培养皿的各种基材。扫描仪和照明灯连接到自动精密X-Y驱动器,用于精确定位。舞台配备5-400毫米焦距和非手动焦距覆盖。焦距和焦距一起覆盖允许x -y调整光学器件以实现基板的精确角度放置。CANON PLA-600FA可以在单个晶片上同时精确定位和对齐多个掩码。蒙版放置在蒙版读取器中,可以将其设置为单模式或双模式。读卡器由微步进电机驱动,读取并存储掩模方向,使操作员能够将掩模精确地放置在晶片上。系统还配备了内存存储,允许操作员最多保存三个蒙版定向设置以备将来使用。遮罩对齐器最先进的特点是其背面对齐,允许精确控制打印基板上的多遮罩方向。背面对准功能还允许对晶圆步进器进行远程控制,从而无需手动干预。PLA 600FA还提供集成软件,使操作员能够精确跟踪和维护多个掩码的对齐。软件还提供多级控制选项,允许精确调整掩码对齐方式。总体而言,CANON PLA 600FA是一款先进的、高度灵活的掩模对齐器,可为微量和纳米级应用程序提供卓越的准确性和控制。它是一种用于印刷平版印刷的强大工具,可为用户提供满足其特定要求的一系列功能。
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