二手 CANON PLA 600 FA #154145 待售

CANON PLA 600 FA是为精确光刻应用而设计的先进自动面罩对准器。适用于执行广泛的应用，包括半导体器件制造、纳米技术和微机电系统（MEMS）。CANON PLA-600FA配备了自动化的3D对准设备和几个激光源，使其实现了多层的精确对准。PLA 600FA的三维（3D）对准系统允许精确放置掩模，使其成为各种材料精确光刻操作的可靠工具。3 D对齐方式可确保阵列和基板都能精确对齐。该单元还减少了未对准的机会，并提高了5 μ m的对准精度。CANON PLA 600FA配备了多种激光源，对于对多种材料进行制图操作非常有用。这些激光源包括准分子激光器、近红外二极管激光器和超短脉冲激光器。准分子激光器主要用于处理不能暴露于可见光的材料，如半导体器件的SiO2层。近红外二极管激光器是激光修整、制图和蚀刻操作的有力工具，而超短脉冲激光器则是精细制图操作的绝佳工具。该机还提供了多种可用于多种应用的光刻工艺，包括接触光刻和接近光刻。接触光刻工艺非常适合创建小图桉，例如MEMS中使用的图桉，而接近光刻工艺则非常适合大型光刻作业。另外，PLA 600 FA能够控制暴露剂量，最小线宽为5 um。最后，PLA-600FA易于使用和操作，适用于小规模和大规模的光刻应用。该工具还附带了所有必要的组件，以实现平稳操作，如腔室、步进马达和软件，用户可以轻松操作。此外,还为资产提供了远程控制器,允许用户远程控制模型的参数。