二手 CANON PLA 600 FA #9015364 待售
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CANON PLA 600 FA是由CANON ASIA生产的先进光刻面膜对齐器。它的先进技术旨在为光刻过程中需要高精度的产品提供高度精确和可靠的掩模对准。CANON PLA-600FA的构造支持晶片掩模与晶片或基板表面之间的对齐。它由空气轴承级、感光级、光探测级和晶圆传输单元等主要部件组成，所有这些部件都是为提供精确对准而设计的。空气轴承阶段为掩模阶段和晶圆阶段提供了最佳工作环境。这是通过微型空气轴承弹药筒实现的，这种弹药筒有助于低粗糙度弹性体层，从而实现极其平滑和精确的运动。此外，还采用了由两条直线导轨组成的平面内舞台运动系统，以确保高精度的舞台旅行和定位。感光级的设计允许晶圆和掩模图样之间的精确映射。这是由步进电机缩放机构实现的，该机构能够提供高达700微米的高精度视野。此外，一个集成成像系统捕获从四个拍摄角度拍摄的图像，双UV-IR光源照亮晶圆和掩模级，用于检查。光探测阶段设计为提供长期稳定。这是通过非接触式光功率检测器实现的，该检测器精确检测晶圆和掩模发出的光强度，以确保精确对准。最后，晶圆传输单元允许晶圆和掩模的快速和高效的运动。这是通过使用可变螺距线圈实现的，这种线圈有助于比传统的铅丝系统更大的平滑度。总体而言,PLA 600FA是一种先进、高度精确和可靠的掩码对齐器。其先进技术旨在在晶圆掩模和晶圆或基板表面之间提供高度精确和可靠的对准。
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