二手 CANON PLA 600 FA #9030686 待售
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CANON PLA 600 FA Mask Aligner是一款高端光学步进重复对准设备。它专为晶圆级光刻工艺而设计，能够与+/-5微米的精确度精确对齐和制图。该系统非常适合半导体行业的应用，如芯片阵列、封装、MEMS和光学元件。对准单元采用全场8通道ADC图像采集机。这种传感器具有极高的分辨率和高灵敏度，使其即使在低对比度或高调制图像中也能捕捉到细节。该工具具有广阔的视野，允许广角曝光和成像。它还具有较高的吞吐量能力,可实现大批量自动化生产。CANON PLA-600FA Mask Aligner有一个分割场光学A轴，使它可以对有图桉的区域进行精确的二维图桉。此A轴用于控制掩蔽、对齐和蚀刻过程。它还用于精确定义蚀刻图样，并确保每个过程的准确性。该资产配备了CCD摄像头和光谱滤波器，使其能够准确检测掩模的对准特征。通过计算掩模模式和晶圆模式之间的差异来实现对齐。该模型还配备了自动激光检测设备，用于检测掩模的真实中心，提供准确和可重复的图样，无需手动调整。系统可以生成各种对齐模式，如正方形、圆形和六边形模式。它还具有高精度的微步进电机，确保对准特性的精确和可重复的运动。另外，PLA 600FA Mask Aligner有步进电机控制器，可以精确的垂直和水平对准图桉。借助CANON PLA 600FA Mask Aligner,您可以获得用于晶圆级光刻工艺的高端光学单元。它具有高精度和重复性,非常适合大批量生产。它还提供了创建各种对准模式的灵活性，并配备了CCD相机和激光检测机，用于精确对准。
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