二手 CANON PLA 600 FA #9049411 待售
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ID: 9049411
晶圆大小: 5"
Mask aligner, 4"
Illumination system: 250W:
Mirror lens tarnishing: yes
1st Mirror type: backside
2nd Mirror type: backside average
Condenser lens: 6"
Filter: N/A
Objective lens drive: Chain
Eyepiece lens: x10 / Objective lens x10
Down stopper: N/A
Pad size: 4"
Pad count: 3
XYZ: cross roller
W/C: standard
C/L: standard, cylinder
C-box MPU-II: ROM ver. VS60.
CANON PLA 600 FA是一种面罩对准器,一种用于生产集成电路和系统的仪器。它是一种高度精确和多用途的工具,能够精确对准和定位半导体、印刷电路板和其他基于电路的组件创建过程中用于阵列材料的掩模。CANON PLA-600FA掩模对齐器的主要优点是能够对齐和阵列掩模,具有很高的可重复性、准确性和速度。对准器配备了高精度、曝光级、成像系统和可变放大倍率,使其能够制作出极其精确、微微米级的图样。它还能够进行精确的图样化,允许对问题区域进行微调。为了正确操作PLA 600FA,用户必须首先将掩码加载到曝光阶段,然后使用z轴和x-y坐标定位系统对掩码进行精确对齐。然后使用成像系统来测量入射光的能量,这又被用来激活将在掩模上产生图样的曝光过程。CANON PLA 600FA掩模对准器的功能和准确性使掩模模式呈现出均匀性和控制性。这使得该工具适合广泛的项目和应用,包括但不限于缝合、步进和重复、识别标记、经典光刻、光刻和微调过程。最后,PLA 600 FA掩模对齐器还能够与设施中的其他工具连接,从而允许上游集成到整个阵列设备套件中。因此,它可以减少周转时间,增加吞吐量,并为精确制造需求提供经济高效的解决方桉。
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