二手 CANON PLA 600 FA #9148245 待售

CANON PLA 600 FA是设计用于先进光刻技术的高精度掩模对准器。它具有非常高的精确度,可确保在广阔的区域内进行精确的阵列。这允许用户在不增加光掩码分辨率的情况下实现所需的设计。掩模对准器在355至420 nm的范围内工作，大场大小600 mm。它还具有从1 x到16 x的高分辨率放大倍率。掩模对齐器可以在一微米的数量级上进行对齐，这是产生亚微米特征所必需的。扫描仪具有内置空气轴承级，分辨率为0.8微米，可重复性为0.1微米。此级设计用于确保掩模与晶片精确对齐。它还配备了高分辨率CCD摄像头，像素大小为5 μ m，横向分辨率为4 μ m。CCD相机使用同差、自相关和梯度技术来保证对准精度。掩模对齐器还配备了Actinictm晶圆级。该级放大率为5倍，10微米级分辨率，重复性为1微米。此外,扫描仪还具有光束扫描系统,可实现快速稳定的扫描轮廓。CANON PLA-600FA mask aligner还配备了提高其能力的软件。LexEco工具包用于管理各种参数,例如最佳暴露时间和剂量。这样可以确保对齐器具有适当的数据收集和分析所需的参数。它还具有缺陷检测、晶圆映射和距离测量功能。PLA 600FA面罩对准器是一种精密的光刻技术仪器.其精度和分辨率使其成为亚微米特征生产的绝佳选择。其内置的空气轴承和晶片级确保了掩模与晶片的一致对齐，附加的软件和功能使得对齐器适合许多特定的任务。