二手 CANON PLA 600 FA #9152979 待售

CANON PLA 600 FA是晶圆级光刻的理想掩模对准器。它有助于快速制作高产率的图样和结构，用于MEMS、纳米电子设备和光电子等领域。这台机器可缝制多达24毫升的矩形图像,最小特征尺寸为0.14毫升。它具有TTL激光二极管光束、通过X-Y索引器进行晶圆定位和临界对准等特点,能够进行4轴旋转和晶圆图样的中心测量。CANON PLA-600FA有一个24位自动载荷/卸载支架，能够处理6"至8"晶圆。晶片厚度可达200毫米。成像机使用高度敏感的32位LSI颜色，在特殊的800-dpi感光图块上生成掩码。这样可以确保很高的分辨率和低线宽扩展。此计算机提供图形用户界面,该界面在基于英特尔的平台上运行,并具有19英寸显示器和基于PC的软件。该软件对用户友好,可轻松设置和控制掩码对齐器。此外，PLA 600FA还提供自动切片机、烘干炉、热级卡盘等外围设备。这台机器还提供灵活的真空卡盘晶片处理多个晶片从薄到厚类型到平坦和弯曲。再者，它能够处理各种组成的晶片底物，如硅、低-k、氮化物、磷硅酸盐玻璃、砷化的。PLA-600FA还配备了最先进的激光双向扫描，这样可以很容易地补偿图像失真。此外,它还具有几种用户友好的自动功能,如自动定位、自动聚焦和自动曝光。总体而言，PLA 600 FA是一种理想的掩模对准器，用于制造高产量的模式和结构，用于MEMS、纳米电子和光电子领域。它具有激光双向扫描、各种晶片基板组成处理、32位LSI颜色、高分辨率成像、用户友好的图形用户界面以及若干自动功能等高度先进的功能。