二手 CANON PLA 600 FA #9226487 待售

CANON PLA 600 FA是一种掩模对齐器，是一种用于半导体光刻工艺的仪器。它用于将图样从光掩模模板传输到基板表面。该仪器利用来自激光源的紫外线，以便在传递基板上的图样之前，将光掩模与基板精确对齐。该仪器工作面积较大，基宽600mm，最大基板直径450mm。它具有高度精确的高度调节，分辨率为0.1微米，Z重复性为0.5微米。它还带有晶圆索引系统和自动对焦功能，可以在光掩模和基板之间精确对准。在实时、高速控制方面，CANON PLA-600FA有一个自动模式搜索系统，允许它从上到下扫描大型样本，以便识别必要的模式。该系统使用户能够减少大型片上设备或大面积网格的模式搜索时间。其他功能包括自动曝光计时器和改进的光线投影模块，从而实现更加一致和可靠的结果。在安全性能方面，解放军600FA在防尘防静电措施方面符合目前所有行业标准。它还设计了易于维护和易于操作，同时配备了手动和自动操作模式。总体而言，PLA-600FA非常适合半导体行业的光刻工艺，以安全和高效的方式提供准确和可靠的结果。凭借其较大的工作面积、高精度的高度调节、高速实时控制以及多种安全特性，它是一种用途广泛、可靠的仪器，可用于多种光刻工艺。