二手 CANON PLA 600 FA #9309547 待售

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製造商
CANON
模型
PLA 600 FA
ID: 9309547
Mask aligner.
CANON PLA 600 FA是一种掩模对齐器,提供了多层在基板上的精确对齐,从而能够产生精细的、小规模的图桉。设备采用激光真空曝光技术,快速处理多达8 ½ "x 11"面膜。佳能PLA-600FA由两个主要组成部分组成:真空室和内置视觉系统。真空室的设计使多个口罩能够同时处理。通过其六块不锈钢板,腔室能够产生真空力,牢固地固定和精确地对准基板上的口罩。使用内置视觉单元,用户可以以10微米的高分辨率精确控制每一层的位置和曝光水平。该机器还可以存储多达200个设置,以提高生产效率。PLA 600FA还提供了卓越的图像保留功能,可实现高达1微米的阵列大小,并具有出色的可重复性。此外,该工具还提供自动清洁资产,具有几种晶圆清洁功能,包括喷雾清洗、空气清洗和自旋冲洗清洗。CANON PLA 600FA以其先进的特性,设计用于生产先进的IC设备,如细线光刻和细线图桉。由于其灵活性和精确度,该模型非常适合各种粘合剂粘结和需要多层加工的基材。设备还配备了一系列保护用户的安全功能,包括用于防止用户进入室内激光的安全快门护罩。总体而言,PLA-600FA是一种先进的光刻系统,非常适合精密精密地制作细线图桉和错综复杂的小尺度图桉。除了先进的功能外,该设备还提供了一系列安全功能,可最大程度地保护用户并提高生产效率。
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