二手 CANON PLA 600 FA #9393290 待售

CANON PLA 600 FA是一种精确的掩模对齐器，可用于多种光刻应用。它能够精确、高分辨率、可靠的掩模对准± 5 µm的视场,是精确应用的理想选择。掩模对准器利用电子束光刻（EBL）系统达到最高分辨率的结果，并配备了底架和扫描头、安装线微调器和掩模交换机构。CANON PLA-600FA有一个特殊的特性，可以让它轻松地改变电子束图样的焦点和大小，使它成为需要各种特性和尺寸的应用的绝佳选择。这一特性也提高了操作速度。掩模对齐器由于能效高，还提供了低成本的操作，并且配有防止错位错误的集成安全系统。PLA 600FA的最大下载速率为45mm/sec,最大掩模表面积为500 mm x 500 mm。其内置曝光范围为0.3 µm至5 μ m。其最大数值孔径为0.078，最大分辨率为125nm。蒙版对齐器还具有可调节的多步扫描头,曝光时间范围为0.01秒至5,000秒。佳能PLA 600FA具有用户友好的触摸显示和直观的图形用户界面,因此易于设置和操作。该系统还包括两个盒式磁带加载功能,可轻松加载不同的口罩,而无需手动移动。PLA-600FA具有快速启动、高精度和扩展的扫描头范围,是需要精确结果的光刻应用的理想工具。