二手 CANON PLA 600 FA #9407646 待售

CANON PLA 600 FA是一款用于半导体制造等相关行业的顶级面罩对齐器。借助光学对准，可以达到高达1 µm的准确率。这意味着它非常适合需要极其精确的项目。自动光对准系统由传感器头、对准级和控制板组成。传感器头处理来自基板的图像,然后将其发送到控制板。控制板负责计算和调整对准级的位置，使光掩模在基板上完美对齐。此外，成像系统由高速1200万像素CCD相机组成，与数字图像运动学补偿算法协同工作，可实现高精度和重复率。这有助于提高工艺的准确性，即使在使用不同的基材尺寸时也是如此。此外，还可以调整主轴倾斜和基板倾斜，以优化光掩模在基板上的对准。CANON PLA-600FA进一步得到直观控制软件的支持，该软件使用户能够将照片掩码舒适、准确地移动到指定的位置。它还包括一个无限的模式识别区域，这使得能够识别每一个模式在一个单一的照片蒙版。除此之外，它还具有高达0.2µm的模式匹配精度，并且凭借其详细的电子文档系统，数据可以很容易地存档以供将来参考。为了给用户提供最佳体验,PLA 600FA还配备了其他功能,例如用于底物泄漏和保护的超高真空泵、用于安全的符合污染要求的布线以及预对准和掩模清洁功能。所有这些结合在一起，形成了一个强大的掩模对齐器，为广泛的生产要求提供了精确度和准确性。