二手 CANON PLA 600 #293594861 待售

CANON PLA 600是设计用于光刻应用的掩模对齐器。它是一个半自动的晶圆处理平台，具有一整套功能和集成工具。其特点包括用于精确图样定位和对准的高精度级，用于晶圆分析的集成显微镜，以及最先进的照明和可编程滤波系统。对齐器的半自动操作使得它既适用于手动处理，也适用于自动处理。机器的详细集成确保了一个完整的过程周期，从加载样品开始，到卸载加工过的晶圆结束。在周期的中间有各种过程，如预对齐、曝光、数据分析、后对齐和卸载。机器可以以高达每小时100晶圆的速度执行其各种任务。掩模对准器的核心是一种由先进的实时图像处理系统支持的优化光学设备。它是一个高度通用的单元，可以处理多种光掩模，如标准光刻掩模、干涉类型、二进制、接触和激光掩模。该机器还可以用于二元光刻应用，在那里它可以应对与小特征检测相关的复杂性。PLA 600为用户提供了多种优势,包括易于操作和维护、高精度、峰值性能和经济实惠的投资成本。其中一个关键特征是其创新的掩模模式识别机，它利用一个高级算法库进行掩模模式识别。此关键功能简化了与出色的阵列匹配功能的对齐过程。先进的功能集还包括一个高度敏感的光源和数字投影工具。这些组件提供了出色的灵敏度和分辨率，使得制造高质量的微观结构成为可能。此外，机器还提供了一个界面来控制某些参数，例如暴露剂量和暴露次数。它还配备了激光源，用于先进的模式生成。最后,CANON PLA 600提供了一系列安全功能,可确保环境安全使用,并确保机器正常运行。其中包括自动互锁资产、空气净化模型和自动诊断。该机可与其他外围设备集成，形成完整的光刻加工设备。