二手 CANON PLA 600 #293655815 待售

CANON PLA 600是半导体工业中用于生产晶圆的掩模对齐器。本机设计用于光学下光掩模和晶片的定位、对准和曝光.适用于二进制掩码和衰减相移掩码（PSM）。该装置由自适应步进器、压力控制曝光平台和伺服控制的Z轴级组成。PLA 600具有可移动步进器,可配置用于不同的微加工过程,包括光学曝光、沉积、光刻、蚀刻和其他过程。此外,设备最多可存储1024张扫描图像。佳能PLA 600的压力控制曝光平台允许在整个曝光过程中均匀的压力控制，以确保掩模和晶片的准确定位。压力调节功能保证了均匀的曝光边缘。PLA 600的Z轴级设计用于将掩模和晶片移动到最佳曝光位置。舞台也被设计成精确对准掩蔽与晶片，提供优越的配准图像被曝光。该级还设计用于精确移动掩模和晶片，以确保暴露在晶片的目标表面上。CANON PLA 600使用图形用户界面操作,该界面包括系统监视器、设置调整、图像显示和各种其他功能。该机还具有自动对准系统、紧急停止按钮、防护罩等多项安全功能，防止人身伤害。PLA 600能够精确定位和对准掩模和晶片,从而提高微加工工艺的精度和效率。该装置可靠，易于使用，在晶片上提供精确和均匀的曝光。节省的时间和提高的生产率提供了有吸引力的投资回报。