二手 CANON PLA 600 #293660393 待售

CANON PLA 600是专门为半导体工业光掩模图样的光学接近校正而设计的掩模对准器。它是一种全自动、高精度的工具,可实现快速、精确的掩模对齐,具有任何传统光刻设备都无法比拟的可重复性。PLA 600使用线性移动驱动系统，为掩码对准提供高分辨率的控制和准确性。其对准精度为XY模为0.12 µm （6sigma），角模为0.20 µm （6sigma）。这确保在光掩模上形成的图样与标线上的图样精确匹配，以实现所需的光学接近校正。CANON PLA 600还附带了一个功能强大的软件包，该软件包提供了掩模对准过程的完全自动化和高级功能，以精确控制过程。软件支持多种模式，可用于优化过程参数，如曝光时间、焦点位置等，以实现最佳掩码对齐。PLA 600还配备了高精度、自动化的定位系统，使其能够在人工对准所需时间的一小部分内精确对齐标线。这确保了光掩模模式与最小的人工输入精确对齐。最后，佳能PLA 600使用寿命长，是长期生产运行的理想选择。该工具的设计符合现代半导体生产工艺的严密公差和标准，设计为运行长达10年的连续使用，无问题。这使得它成为半导体掩模对准的可靠且经济实惠的选择。