二手 CANON PLA 600F #9397141 待售

CANON PLA 600F是为高精度光刻设计的最先进的面膜对齐器。该工具有助于以统一和可重复的方式将物料层精确地沉积到基板上。适用于包括半导体、LED、MEMS、生物医药等广泛的光刻应用。CANON PLA600F设备使用机械定心，使基板与遮罩和光源精确对齐。高度调整为+/-1mm, XY定位精度± 0.6 μ m。它利用高度精确的机械移动阶段，XY误差范围为几µm。该系统还具有高性能光学透镜,可在高达1 µm的分辨率下精确对准。该单元易于使用各种用户友好的软件控制屏幕操作。菜单旨在提供简单明了的用户体验。有三种曝光模式可供选择；正常、软触摸和快速曝光。此外，该机最多可存储九个样本参数，方便数据召回。然后使用适当的曝光时间和波长将对准的遮罩与机器的水银灯曝光。灯泡稳定,始终保持光照强度一致。该工具还具有内置的OPC（光学接近校正）处理器。此资产能够根据用户的流程要求提供最佳的曝光设置。PLA-600F掩模对准器是一种高效可靠的工具,使用户能够一次又一次地获得高精度和可重复的光刻结果。它提供了易于使用的界面、精确的机械定心、强大的光学透镜、高性能的汞灯和内置的OPC校正。这种结合使佳能PLA 600 F成为各种光刻要求的理想选择。